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3D共聚焦显微镜的功能与技术指标

    3D共聚焦显微镜用来测量表面物理形貌,进行微纳米尺度的三维形貌分析,如3D表面形貌、2D的纵深形貌、轮廓(纵深、宽度、曲率、角度)、表面粗糙度等。可针对如下需求开展测试:如精密部件:检测对表面磨损,表面粗糙度,表面微结构有要求的零部件,比如发动机汽缸、刀口等。

3D共聚焦显微镜的技术指标:

    1)光学相机(3CCD)拍摄分辨率不低于700万像素;

    2)垂直方向测量范围:>1.0mm

    3)Z轴行程:50 mm

    4)垂直分辨率:<10nm

    5)水平分辨率: 0.2μm

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