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光学数码显微镜

如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称: 光学数码显微镜
产品型号: DSX1000数码显微镜
产品展商: 奥林巴斯
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简单介绍

DSX系列数码显微镜将我们卓越的光学技术与先进的数字技术融为一体。DSX1000 数码显微镜用于观察和测量各种样品,包括电子元件和金属材料。DSX1000 数码显微镜凭借有保证的准确度和重复性,可实现更快速的故障分析。


光学数码显微镜  的详细介绍

DSX 系列数码显微镜将我们卓越的光学技术与先进的数字技术融为一体。DSX1000 数码显微镜用于观察和测量各种样品,包括电子元件和金属材料。此显微镜使用简单,只要放上样品,就可以轻松地完成 3D 观察、测量、报告自动生成等一系列操作。

您只需要一台 DSX1000 显微镜就可满足各种观察和分析需要,改善检验的工作流程。镜头数量增加至 15 个,涵盖20-7,000X的放大倍率。用户还可以利用该显微镜的六种观察方法,对各种样品进行观察与测量。比如突出显示样品表面的不规则和轮廓形貌。显微镜头部和载物台可以分别进行± 90°的自由角度调节,从而满足对各种复杂外形样品的任意角度观察。另外,新开发的算法可以实现更快的 3D 图像采集,与奥林巴斯传统数码显微镜相比,速度快了近十倍。*后,我们将根据每位用户的工作环境校准显微镜,以帮助用户实现**、高效的观察和测量。

DSX1000显微镜

主要特点

  • 放大倍率范围 20–7,000X,可旋转式载物台。

  • 可迅速切换物镜和六种观察方式。

  • 远心光学系统保证了在整个放大范围内的测量准确度。

1、放大倍率范围 20–7,000X,可旋转式载物台

DSX1000 数码显微镜新增了 5 个物镜,物镜总数达到 15 个。20-7,000X 的放大倍率范围实现了**观察,而长工作距离物镜则实现了对不规则样品的观察,例如电路板和机加工零件。显微镜头部和载物台都可以旋转± 90°,更易于观察和分析薄样品,如晶圆,或大型样品,如汽车部件。 

可调节的头部和载物台

显微镜头部和载物台可以分别旋转± 90°

使用高分辨率长工作距离的物镜

长工作距离使用户能够观察不规则形状的电子基板。 

207,000X 放大倍率下的晶圆图像对比

2、可迅速切换物镜和六种观察方式

显微镜的电动变焦光路结合了先进的观察功能,可实现六种观察方法和对比度增强功能:明场、暗场、MIX、偏光、简易偏振和微分干涉。偏光观察和对比度增强功能可以突出样品表面的不规则和轮廓形貌。例如,此功能可用于在观察晶圆表面较大的不规则形状与细微破损和划痕之间快速切换。从而用户可以观察到使用其他方法难以检测到的对象。

太阳能电池图像对比

(左图:明场观察,右图:偏光观察)

单侧光线照射突出了表面的不规则形状。该项技术适用于观察不规则形状、扭曲的样品和槽口。

集成电路 (IC) 芯片图像对比

(左图:常规;右图:带对比度增强功能)

色彩清晰明亮的图像替代了明暗图像。

3、远心光学系统保证了在整个放大范围内的测量**性。*

汽车制造商、精密设备和其他产品制造商必须**测量和分析产品的规格,以证明产品的安全性。DSX1000 数码显微镜使用远心光学系统,在整个放大范围内图像失真极低,实现了有保证的准确度和重复性的高精度测量。为了确保准确度,在完成 DSX1000 显微镜的安装后,奥林巴斯的技术人员将根据客户使用环境对每台显微镜进行校准。 

远心光学系统和非远心光学系统的图像采集对比图

改变聚焦位置不会改变图像大小。

此新闻稿中的公司名称和产品名称分别是其对应公司的商标或注册商标。

*必须由奥林巴斯进行校准。



DSX1000数码显微镜规格

 

DSX10-SZH DSX10-UZH
光学系统 光学系统 远心光学系统
变焦倍率 10X (电动)
变焦放大方式 电动
校准 自动
镜头附件 快速切换,编码型镜头附件,自动更新放大倍率和视野信息
*大总放大倍率(显示器上) 7000X
工作距离 (W.D.) 66.1 mm – 0.35 mm
准确度和重复性(X-Y 平面)*1  放大倍率准确度:3%
放大倍率重复性:± 2% = 3σ n -1
重复性(Z 轴)*2 重复性(高度): σ n – 1 ≤ 1 μm
照像机 图像传感器 1 / 1.2 英寸,235 万像素彩色 CMOS
冷却 珀尔帖冷却
帧速率 60 fps(*大)
常规 1200 × 1200 (1: 1) / 1600 × 1200 (4: 3)
精细 不可用 1200 × 1200 (1: 1) / 1600 × 1200 (4: 3)
超精细 不可用 3600 × 3600 (1: 1) / 4800 × 3600 (4: 3)
照明器 彩色光源 LED
寿命 60,000 小时(设计值)
观察方法 BF (明场) 标准
OBQ (偏斜) 标准
DF (暗场) 标准
LED 光源四分区环形照明
MIX (明场 + 暗场) 标准
明场 + 暗场 同时照明
PO (偏光) 标准
DIC (微分干涉) 不可用 标准
对比度增强 标准
景深扩展 不可用 标准
透射照明 标准*3
聚焦装置 驱动方式 电动
行程 101 mm (电动)

*1 必须由奥林巴斯或代理商的服务技术人员进行校准。为了保证 XY 的准确度,需要用 DSX-CALS-HR(校准标样)进行校准。
*2 当使用 20X 或以上的物镜时。
*3 需要使用选配件 DSX10-ILT。

物镜 DSX10-SXLOB DSX10-XLOB UIS2
物镜 *大样品高度 50 mm 115 mm 145 mm
*大样品高度(自由角度观察) 50 mm
齐焦距离 140 mm 75 mm 45 mm
镜头附件 镜头附件一体形 可用
总放大倍率 20X – 1400X 42X – 5600X 23X*4 – 7000X
实际视场 19,200 µm – 270 µm 9,100 µm – 70 µm 17,100 µm – 50 µm
适配器 扩散照明装置(可选) 可用 不可用
防反射照明装置(可选) 可用 不可用
镜头附件 安装物镜数量 1 个(物镜和镜片附件一体型) 2 个
物镜盒 可保存三个物镜附件

*4 使用 MPLFLN1.25X 时的总放大倍率

载物台 DSX10-RMTS DSX10-MTS U-SIC4R2
XY 载物台:电动/ 手动 电动(带旋转功能) 电动 手动
XY 行程 行程优先模式:100 mm × 100 mm
旋转优先模式:50 mm× 50 mm
100 mm × 100 mm 100 mm × 105 mm
旋转角度 行程优先模式:±20°
旋转优先模式:±90°
不可用
旋转角度显示 不可用
承重 5 kg (11 lb) 1 kg (2.2 lb)

 

机架 正置式机架 倾斜式机架
Z 轴行程 50 mm (手动)
倾斜观察角度 不可用 ±90°
倾斜角度显示 不可用
倾斜方式 不可用 手动、固定/ 解除手柄

 

显示器 23 英寸平板显示器
分辨率 1920 (H) × 1080 (V)

 

全系统 正置式机架系统 倾斜式机架系统
重量(镜架、观察头、电动载物台、显示器和控制台) 43.7 kg (96.3 lb) 46.7 kg (103 lb)
功耗 100 – 120 V / 220 – 240 V, 1.1 / 0 .54 A, 50 / 60 Hz


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