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3D共聚焦显微镜基本介绍

3D共聚焦显微镜基本介绍
  3D共聚焦显微镜是一种用于环境科学技术及资源科学技术领域的分析仪器
技术指标
  光学和数码变焦1-8X,移动分辨率10 nm、显示分辨率1 nm,物镜100x、50x、20x、10x、5x。 
主要功能
  3D共聚焦显微镜可用来测量表面物理形貌,进行微纳米尺度的三维形貌分析。
  3D共聚焦显微镜是一种用于机械工程领域的计量仪器
  位移范围:100mm×100mm×100mm;样品表面结构:Ra>9nm,Lc=2μm;*大样品高度:100~345mm;*大样品重量:30kg;*佳水平分辨率:0.44μm;*佳垂直分辨率:10nm;*大扫描高度:22.5mm;*大扩展视野范围:10000mm2;*大单一方向扫描范围:100mm;*小测量高度:0.01μm;*大测量高度:22.5mm;*大测量范围:10000mm2;*大测量形貌长度:100mm;*小可重复性:0.001μm;*小测量粗糙度(Ra):0.03μm;*小测量粗糙度(Sa):0.015μm;*小测量半径:1μm;*小测量垂直角度:20°。

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